精密仪器通常包含许多高精度的金属部件，这些部件对防锈的要求非常高，因为即使是轻微的锈蚀也可能影响仪器的精度和性能。气相防锈技术可以为精密仪器的金属部件提供有效的防锈保护，确保仪器在生产、储存和使用过程中的可靠性。例如光学仪器中的金属镜片座、电子显微镜的金属结构部件等都可以采用气相防锈技术。